今天怡怡来给大家分享一些关于等离子清洗机的作用方面的知识吧，希望大家会喜欢哦

等离子清洗机 等离子清洗机的作用等离子清洗机 等离子清洗机的作用


等离子清洗机 等离子清洗机的作用


1、从机理上看：等离子清洗机在清洗时通入工作气体在电磁场的作用下所激发的等离子与物体表面产生物理反应和化学反应。

2、其中，物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面最终被真空泵吸走；化学反应机制是各种活性的粒子和污染物等离子清洗机，又名电浆机，等离子表面处理设备。

3、光从名称上来看，清洗并不是清洗，而是处理和反应。

4、从机理上看：等离子清洗机在清洗时通入工作气体在电磁场的作用下所激发的等离子与物体表面产生物理反应和化学反应。

5、其中，物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面最终被真空泵吸走；化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走挥发性的物质，从而达到清洗目的。

6、反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走挥发性的物质，从而达到清洗目的。

7、等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。

8、利等离子的原理主要有2个变化：用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。

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